共創共贏
產(chan) 品概述
Model 505 包括兩(liang) 個(ge) 質量流量控製器(MFC)係統 – 載氣和稀釋氣。每個(ge) 滲透腔的載氣流量出廠時是固定的。滲透腔的溫度使用以控製滲透管校準氣的滲透率,保證儀(yi) 器的精度。滲透管的溫度範圍是30°C (或者是室溫上2°C) 到 110°C。載氣在滲透腔內(nei) 與(yu) 校準氣混合後進入混合三通。在標準模式中(見下),稀釋氣是用稀釋氣的MFC加以控製和測量,然後進入三通的另外一側(ce) 。載氣和稀釋氣混合後送到分配三通留到“SPEN OUT"和“Overflow"放空。
Model 505 每一個(ge) 滲透腔都有一個(ge) 導流閥以切換至Zero, Cham 1, Cham 2, 或 Cham 1 + Cham 2進行選擇。稀釋氣和所選的載氣一直都通過混合三通。
產(chan) 品特點:
§ CE-標準;
§ 溫度控製精度:±0.01°C 在 110°C 時;
§ 供氣範圍:PPB – 高濃度 PPM;
§ 兩(liang) 個(ge) 獨立的滲透腔。
技術優(you) 勢:
§ 大尺寸液晶操作屏;
§ 腔室配置容許產(chan) 生多種混合標氣;
§ 三個(ge) 質量流量計控製氣路,可容許兩(liang) 種標氣混合稀釋。